TY - JOUR T1 - 3D FIB and AFM mapping of Nanoindentation Zones JO - MRS Proceedings PY - 2001/01/01 AU - Steer TJ AU - Möbus G AU - Kraft O AU - Wagner T AU - Inkson BJ ED - DO - DOI: 10.1557/proc-649-q3.7 PB - Cambridge 9 1Ãâ·Ñ°æÏ Press (CUP) VL - 649 Y2 - 2025/06/23 ER -